GB/T 42263-2022
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
GBT42263-2022, GB42263-2022
GB/T 42263-2022 发布历史
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3 (0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定
GB/T 42263-2022由国家质检总局 CN-GB 发布于 2022-12-30，并于 2023-04-01 实施。
GB/T 42263-2022 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法，在国际标准分类中归属于: 77.040 金属材料试验。
GB/T 42263-2022 发布之时，引用了标准
- GB/T 14264 半导体材料术语
- GB/T 22461 表面化学分析.词汇
- GB/T 32267 分析仪器性能测定术语
GB/T 42263-2022的历代版本如下：
- 2022年 GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
- 标准号
- GB/T 42263-2022
- 别名
- GBT42263-2022
GB42263-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42263-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 32267