EN ISO 14644-10:2013
洁净室和相关控制环境.第10部分:通过化学浓缩进行表面洁净度分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

被代替

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标准号

EN ISO 14644-10:2013

发布

2013年

发布单位

欧洲标准化委员会

替代标准

EN ISO 14644-10:2022

当前最新

EN ISO 14644-10:2022

 

 

引用标准

ISO 14644-1:1999 ISO 14644-6:2007

被代替标准

FprEN ISO 14644-10:2012

适用范围

ISO 14644 系列的这一部分根据存在的化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）规定了洁净室表面清洁度的分类系统。 ISO 14644 系列的这一部分适用于洁净室和相关洁净室区域的所有固体表面，例如B. 墙壁、天花板、地板、工作区域、工具、设备和装置。 注 1：对于 ISO 14644 系列本部分的应用，仅考虑颗粒的化学性质。 不考虑颗粒的物理特性，ISO 14644 系列的这一部分不处理污染物与表面之间的相互作用。 注 2：ISO 14644 系列的这一部分不包括污染物产生过程和时间相关效应（沉积、沉降、老化等）或过程相关活动，例如B. 运输和装卸。 它也不提供有关统计质量控制程序的指导以确保合规性。

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