以化学成分分类,包括应用于制作导电层具有良好导电性能铜、铝、ITO、ZAO;钽、钛等靶材用于制作阻挡层,保护导电层不受侵蚀和氧化。镍铂合金、钨钛合金、钴靶材用于制作接触层,与硅层生成薄膜提供与外部连接的接点。目前芯片制造工艺在180-130nm之间主要用铝及铝合金靶材作为导电层,90-65 nm主要应用铜靶材。45-28nm主要使用纯铜铝和铜锰合金靶材。...
以化学成分分类,包括应用于制作导电层具有良好导电性能铜、铝、ITO、ZAO;钽、钛等靶材用于制作阻挡层,保护导电层不受侵蚀和氧化。镍铂合金、钨钛合金、钴靶材用于制作接触层,与硅层生成薄膜提供与外部连接的接点。目前芯片制造工艺在180-130nm之间主要用铝及铝合金靶材作为导电层,90-65 nm主要应用铜靶材。45-28nm主要使用纯铜铝和铜锰合金靶材。...
(000962)钽、铌及铍合金8、东睦股份(600114)粉末冶金制品、电机产品、软磁材料9、赣锋锂业(002460)金属锂、碳酸锂10、格林美(002340)钴粉、四氧化三钴、三元材料等11、寒锐钴业(300618)钴冶炼,钴粉以及钴盐等12、新劲刚(300629)金属基超硬材料、金属基耐磨材料等13、江丰电子(300666)超高纯度溅射靶材……3、先进化工材料(共计118家)化工新材料(共计46...
材料牛(cailiaoniu.com)摘录其中新材料产业内容如下:3 新材料产业 3.1 新型功能材料产业3.1.1 新型金属功能材料稀有稀贵金属材料如金属储氢材料,钴基非晶软磁合金薄 带,镍基非晶软磁合金薄带,钨钼材料如钼合金、钼铜合金、钼钛锆合金等,钽铌材料如高比容钽粉、高性能铌合金,钪纳合金材料,铍材及铍制品等;钛及钛合金粉体材料,多孔钛及钛合金材料,钛及其合金压延材料等;Al-Ca合金...
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