02溅射镀膜速率一个经常被提及的问题是,不同靶材的溅射速率到底有多大差别?表 1 列出了不同靶材相对于金靶(假定为 1)的理论溅射速率。由于实际溅射速率会受到各种溅射条件的影响,此处提到的只是理论溅射速率。元素名称符号相对溅射速率金Au1.0银Ag1.2钴Co0.5铬Cr0.5铜Cu0.7铁Fe0.5钼Mo0.3镍Ni0.5钯Pd0.85铂Pt0.6钽Ta0.2钨W0.2表1. ...
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