以化学成分分类，包括应用于制作导电层具有良好导电性能铜、铝、ITO、ZAO；钽、钛等靶材用于制作阻挡层，保护导电层不受侵蚀和氧化。镍铂合金、钨钛合金、钴靶材用于制作接触层，与硅层生成薄膜提供与外部连接的接点。目前芯片制造工艺在180-130nm之间主要用铝及铝合金靶材作为导电层，90-65 nm主要应用铜靶材。45-28nm主要使用纯铜铝和铜锰合金靶材。...
以化学成分分类，包括应用于制作导电层具有良好导电性能铜、铝、ITO、ZAO；钽、钛等靶材用于制作阻挡层，保护导电层不受侵蚀和氧化。镍铂合金、钨钛合金、钴靶材用于制作接触层，与硅层生成薄膜提供与外部连接的接点。目前芯片制造工艺在180-130nm之间主要用铝及铝合金靶材作为导电层，90-65 nm主要应用铜靶材。45-28nm主要使用纯铜铝和铜锰合金靶材。...
（000962）钽、铌及铍合金8、东睦股份（600114）粉末冶金制品、电机产品、软磁材料9、赣锋锂业（002460）金属锂、碳酸锂10、格林美（002340）钴粉、四氧化三钴、三元材料等11、寒锐钴业（300618）钴冶炼,钴粉以及钴盐等12、新劲刚（300629）金属基超硬材料、金属基耐磨材料等13、江丰电子（300666）超高纯度溅射靶材……3、先进化工材料（共计118家）化工新材料（共计46...
材料牛（cailiaoniu.com）摘录其中新材料产业内容如下：3 新材料产业 3.1 新型功能材料产业3.1.1 新型金属功能材料稀有稀贵金属材料如金属储氢材料，钴基非晶软磁合金薄 带，镍基非晶软磁合金薄带，钨钼材料如钼合金、钼铜合金、钼钛锆合金等，钽铌材料如高比容钽粉、高性能铌合金，钪纳合金材料，铍材及铍制品等；钛及钛合金粉体材料，多孔钛及钛合金材料，钛及其合金压延材料等；Al-Ca合金...
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