ASTM F1844-97(2016)
使用非接触式涡流量规测量平板显示器制造薄膜导体薄片电阻的标准实践

Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors For Flat Panel Display Manufacturing Using a Noncontact Eddy Current Gage


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ASTM F1844-97(2016)

标准号
ASTM F1844-97(2016)
发布
2016年
发布单位
美国材料与试验协会
当前最新
ASTM F1844-97(2016)
 
 
引用标准
ASTM F673
1.1 本实践描述了测量沉积在大型绝缘基板(玻璃或塑料)上的溅射导电薄膜的薄层电阻的方法,用于制造平板信息显示器。 1.2 本实践旨在与测试方法 F673 一起使用。这种做法属于“手动”测量程序,其中操作员将测量头放置在测试样本上,然后亲自启动测试设备。所得到的测试数据可以由操作员制成表格,或者发送到基于计算机的数据记录系统。测试方法 F673 的方法 I ...

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