ASTM F1844-97(2016)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2016-05-01。
ASTM F1844-97(2016)在国际标准分类中归属于: 31.120 电子显示器件。
1.1 本实践描述了测量沉积在大型绝缘基板(玻璃或塑料)上的溅射导电薄膜的薄层电阻的方法,用于制造平板信息显示器。
1.2 本实践旨在与测试方法 F673 一起使用。这种做法属于“手动”测量程序,其中操作员将测量头放置在测试样本上,然后亲自启动测试设备。所得到的测试数据可以由操作员制成表格,或者发送到基于计算机的数据记录系统。测试方法 F673 的方法 I 和 II(测试方法 F673 的第 3.1 至 3.3.3 段)均适用于本实践。
1.3 可以通过这种做法测量每平方 0.020 至 3000 Ω 范围内的薄层电阻率(每平方范围为 3 × 10-4 至 50 欧姆的薄层电导)。假定被探测区域的薄层电阻是均匀的。注 1——如本实践中所述,典型的手动测试单位以“欧姆每平方”为单位进行测量和报告;这是“每平方欧姆”的倒数。
1.4 此做法仅适用于平坦表面。
1.5 这种做法是非破坏性的。它可以用在生产面板上以帮助确保生产的一致性。
1.6 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.7 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
应用:半导体制造(光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨);LCD 液晶显示器(聚酰亚胺、ITO 透明导电膜);光学镀膜(硬涂层、抗反射层);MEMS 微机电系统(光刻胶、硅系膜层)。 R50四探针电阻率测量仪Filmetrics R50 系列提供接触式四点探针 (4PP) 和非接触式涡流 (EC)测量。最快 1 点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。...
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相关应用:薄膜/厚膜台阶;蚀刻深度量测;光阻/光刻胶台阶;柔性薄膜;表面粗糙度/平整度表征;表面曲率和轮廓分析;薄膜的2D stress量测;表面结构分析;表面的3D轮廓成像;缺陷表征和缺陷分析。 R50四探针电阻率测量仪Filmetrics R50 系列提供接触式四点探针 (4PP) 和非接触式涡流 (EC)测量。1 点/秒的速度映射导电膜的电阻率/电导率。...
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