ASTM F1844-97(2016)
使用非接触式涡流量规测量平板显示器制造薄膜导体薄片电阻的标准实践

Standard Practice for Measuring Sheet Resistance of Thin Film Conductors For Flat Panel Display Manufacturing Using a Noncontact Eddy Current Gage

标准号

ASTM F1844-97(2016)

发布

2016年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F1844-97(2016)

 

 

引用标准

ASTM F673

适用范围

1.1 本实践描述了测量沉积在大型绝缘基板（玻璃或塑料）上的溅射导电薄膜的薄层电阻的方法，用于制造平板信息显示器。
1.2 本实践旨在与测试方法 F673 一起使用。这种做法属于“手动”测量程序，其中操作员将测量头放置在测试样本上，然后亲自启动测试设备。所得到的测试数据可以由操作员制成表格，或者发送到基于计算机的数据记录系统。测试方法 F673 的方法 I 和 II（测试方法 F673 的第 3.1 至 3.3.3 段）均适用于本实践。
1.3 可以通过这种做法测量每平方 0.020 至 3000 Ω 范围内的薄层电阻率（每平方范围为 3 × 10-4 至 50 欧姆的薄层电导）。假定被探测区域的薄层电阻是均匀的。注 1——如本实践中所述，典型的手动测试单位以“欧姆每平方”为单位进行测量和报告；这是“每平方欧姆”的倒数。
1.4 此做法仅适用于平坦表面。
1.5 这种做法是非破坏性的。它可以用在生产面板上以帮助确保生产的一致性。
1.6 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.7 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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