ISO 14644-2:2000
洁净室和相关控制环境第2部分:与ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

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哪些标准引用了ISO 14644-2:2000

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标准号: ISO 14644-2:2000
发布: 2000年
中文版: GB/T 25915.2-2010 (等同采用的中文版本)
发布单位: 国际标准化组织
替代标准: ISO 14644-2:2015
当前最新: ISO 14644-2:2015

引用标准: ISO 14644-1:1999 ISO 14644-3

ISO 14644 的这一部分规定了对洁净室或洁净区进行定期测试的要求，以证明其持续符合 ISO 14644-1 指定的空气颗粒洁净度分类。这些要求调用 ISO 14644-1 中描述的测试来对洁净室或洁净区进行分类。还指定了根据 ISO 14644 本部分的要求进行的附加测试。还确定了由用户自行决定应用的可选测试。 ISO 14644 的这一部分还...

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