AS/NZS ISO 14644.5:2006
无尘室及相关受控环境．作业
Cleanrooms and associated controlled environments - Operations
- 标准号
- AS/NZS ISO 14644.5:2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 澳大利亚标准协会
- 当前最新
- AS/NZS ISO 14644.5:2006
- 引用标准
- ISO 14644-1:1999 ISO 14644-2:2000 ISO 14644-3 ISO 14644-4:2001 ISO 14698-1:2003
- 被代替标准
- AS 1386.6:1989
- 适用范围
- 采用ISO？14644-5:2004规定洁净室操作的基本要求。它适用于那些计划使用和操作洁净室的人。
AS/NZS ISO 14644.5:2006相似标准
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