JEDEC JEP144-2002
微电子封装剩余气体分析(RGA)指南
Guideline for Residual Gas Analysis (RGA) for Microelectronic Packages
JEDEC JEP144-2002 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- JEDEC JEP144-2002
- 发布
- 2002年
- 发布单位
- (美国)固态技术协会,隶属EIA
- 当前最新
- JEDEC JEP144-2002
- 本指南适用于密封微电子元件（包括分立半导体、单片和混合微电路）。具有独特包装、材料或环境限制的特定情况可能无法找到以下所有适用的信息和程序。附录 D 中包含与 RGA、挥发性气体和密封包装相关的报告、论文和文本的参考资料汇编。