ASTM E1577-04
用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
Standard Guide for Reporting of Ion Beam Parameters Used in Surface Analysis
- 标准号
- ASTM E1577-04
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E1577-11
- 当前最新
- ASTM E1577-11
- 引用标准
- ASTM E1127 ASTM E1162 ASTM E673 ASTM E684 ASTM E996
- 离子束以两种方式用于表面分析。首先，它们可以从样本中生成信号，例如在 SIMS 和 ISS 中。其次，它们可以从样品表面去除材料，同时表面分析技术可以确定新暴露表面的成分。这个过程称为溅射深度分析。理想情况下，本指南要求报告可能影响结果的离子束的所有特性，以便可以重现测量结果。1.1 本指南涵盖表征表面分析中使用的离子束所需的信息。 1.2 本指南不涵盖执行...