ASTM E1577-04
用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
Standard Guide for Reporting of Ion Beam Parameters Used in Surface Analysis
ASTM E1577-04 发布历史
ASTM E1577-04由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2004。
ASTM E1577-04 在中国标准分类中归属于: N04 基础标准与通用方法。
ASTM E1577-04 发布之时，引用了标准
- ASTM E1127 俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南
- ASTM E1162 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
- ASTM E673 与表面分析相关的标准术语
- ASTM E684 固体表面溅射深度仿形加工用大直径离子束的电流密度近似测定的标准规程
- ASTM E996 俄歇电子能谱分析和X射线光电子光谱分析数据报告的标准规程
ASTM E1577-04的历代版本如下：
- 2011年 ASTM E1577-11 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
- 2004年 ASTM E1577-04 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
- 1995年 ASTM E1577-95(2000) 用于表面分析的离子束参数报告的标准指南
离子束以两种方式用于表面分析。首先，它们可以从样本中生成信号，例如在 SIMS 和 ISS 中。其次，它们可以从样品表面去除材料，同时表面分析技术可以确定新暴露表面的成分。这个过程称为溅射深度分析。理想情况下，本指南要求报告可能影响结果的离子束的所有特性，以便可以重现测量结果。
1.1 本指南涵盖表征表面分析中使用的离子束所需的信息。
1.2 本指南不涵盖执行溅射深度剖面所需的所有信息（参见参考文件）、指定样品除表面法线之外的任何属性，并讨论选择一组特定离子束参数的基本原理 (1,7) 。本指南确实假设离子通量具有唯一的方向，即离子束，而不是更典型的等离子体的宽谱速度矢量。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。
- 标准号
- ASTM E1577-04
- 发布
- 2004年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM E1577-11
- 当前最新
- ASTM E1577-11
- 引用标准
- ASTM E1127 ASTM E1162 ASTM E673 ASTM E684 ASTM E996