ASTM E1577-04
用于表面分析的离子束参数报告的标准指南

Standard Guide for Reporting of Ion Beam Parameters Used in Surface Analysis


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ASTM E1577-04

标准号
ASTM E1577-04
发布
2004年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E1577-11
当前最新
ASTM E1577-11
 
 
引用标准
ASTM E1127 ASTM E1162 ASTM E673 ASTM E684 ASTM E996
离子束以两种方式用于表面分析。首先,它们可以从样本中生成信号,例如在 SIMS 和 ISS 中。其次,它们可以从样品表面去除材料,同时表面分析技术可以确定新暴露表面的成分。这个过程称为溅射深度分析。理想情况下,本指南要求报告可能影响结果的离子束的所有特性,以便可以重现测量结果。1.1 本指南涵盖表征表面分析中使用的离子束所需的信息。 1.2 本指南不涵盖执行...

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