BS EN 62374:2007
半导体装置.依赖时间的栅极介电薄膜的介质击穿(TDDB)试验
Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films
- 标准号
- BS EN 62374:2007
- 发布
- 2008年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 替代标准
- BS EN 62374:2008
- 当前最新
- BS EN 62374:2008
- 适用范围
- 本国际标准提供了半导体器件栅极介电薄膜的时间相关介电击穿（TDDB）测试方法以及TDDB失效的产品寿命估计方法。
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