GB/T 4298-1984
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

GBT4298-1984, GB4298-1984

2017-12

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GB/T 4298-1984

标准号
GB/T 4298-1984
别名
GBT4298-1984
GB4298-1984
发布
1984年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 4298-1984
 
 
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。

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