GB/T 4298-1984
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

GBT4298-1984, GB4298-1984

2017-12

GB/T 4298-1984 发布历史

GB/T 4298-1984由国家质检总局 CN-GB 发布于 1984-03-28,并于 1985-03-01 实施,于 2017-12-15 废止。

GB/T 4298-1984 在中国标准分类中归属于: H17 半金属及半导体材料分析方法。

GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法的最新版本是哪一版?

最新版本是 GB/T 4298-1984

GB/T 4298-1984的历代版本如下:

  • 1984年 GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

 

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。

GB/T 4298-1984

标准号
GB/T 4298-1984
别名
GBT4298-1984
GB4298-1984
发布
1984年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 4298-1984
 
 

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