图1 90 nm铜制程的某个断面层析成像与标准铜(Kα 8.04 keV)旋转阳固态金属靶源相比,MetalJet D2+以镓(Kα 9.2 keV)为X射线源,在观测Cu和Si时,对比度约为标准铜靶的9倍。如图2所示,镓靶在Kα 9.2 keV时明显能比铜Kα 8.04 KeV获得更大的吸收衬度,并且液态靶光源亮度比标准铜光源高出约10倍。...
0012684862031制造半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机0012784862039制造半导体器件或集成电路用的其他光刻设备0012884862041制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机0012984862049制造半导体器件或集成电路用的其他刻蚀及剥离设备0013084862050制造半导体器件或集成电路用的离子注入机0013184862090制造半导体器件或集成电路用的其他机器及装置...
这表明,当一个经过培训的合格的人员在操作这样的仪器时,所受到的辐射剂量超过辐射工作者的辐射剂量限量的可能性微乎其微。不过,虽然仪器有完全辐射保护系统,作为射线类仪器的使用人员,必须要了解X射线的危险性。下面的关于X射线的生物学效应描述来自普林斯顿大学的网页。X射线的生物学效应有哪些?1、破坏机理当能量转移到细胞结构中的原子和分子,会伤害活组织。电离辐射会导致原子和分子被电离或激发。...
中药生产企业应加强辐照单位审计,并要求辐照单位提供包括辐照产品名称、批号、堆积方式、辐照日期、辐照目的、吸收剂量率、辐照时间、总体平均剂量及保证剂量均匀分布的措施等在内的辐照产品记录。适用于中药辐照的电离辐射有:(1) 60Co等放射性核素产生的γ射线;(2) 电子加速器产生的能量低于5MeV的X射线;(3) 电子加速器产生的能量低于10MeV的电子束。...
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