ASTM F1467-11由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2011。
ASTM F1467-11 在中国标准分类中归属于: N78 X射线、磁粉、荧光及其他探伤仪器。
许多太空、军事和核电系统中使用的电子电路可能会暴露在不同水平的电离辐射剂量下。对于此类电路的设计和制造来说,必须有可用的测试方法来确定此类系统中使用的组件的易损性或硬度(非易损性的度量)。制造商目前正在销售具有保证硬度等级的半导体零件,并且军用规格系统正在扩展以涵盖零件的硬度规格。因此,需要测试方法和指南来标准化资格测试。低能量 (≈10 keV) X 射线源的使用已被检验为钴 60 的替代品,用于微电子器件的电离辐射效应测试 (3,4,5,6)。本指南的目标是在适当的情况下为此类使用提供背景信息和指导。注释 38212;钴 60 用于电离辐射(“总剂量”)测试的最常用电离辐射源是钴 60。能量为 1.17 和 1.33 MeV 的伽马射线是钴 60 发出的主要电离辐射。在使用钴 60 源进行照射时,测试样本必须封装在铅铝容器中,以尽量减少低能散射辐射引起的剂量增强效应(除非已证明这些效应可以忽略不计)。对于这种铅铝容器,需要至少 1.5 毫米的铅围绕 0.7 至 1.0 毫米的铝内屏蔽。 (参见 8.2.2.2 和实践 E1249。)X 射线测试仪已被证明是一种有用的电离辐射效应测试工具,因为: 与大多数钴 60 源相比,它提供相对较高的剂量率,从而缩短测试时间。辐射的能量足够低,可以很容易地准直。结果,可以照射晶片上的单个器件。使用 X 射线辐照器比使用钴 60 源更容易管理辐射安全问题。这是因为光子能量相对较低,而且 X 射线源很容易关闭。 X 射线设备通常比同类钴 60 设备成本更低。当进行工艺更改以提高零件的电离辐射硬度性能时,本指南中讨论的主要辐射引起的效应(能量沉积、吸收剂量增强、电子空穴复合)(参见附录 X1)将保持大致相同正在生产中。只要器件层的厚度和成分基本不变,情况就是如此。由于对过程变量不敏感,10-keV X 射线测试仪有望成为用于过程改进和控制的出色设备。几份已发表的报告表明,使用剂量增强和电子空穴复合校正,成功地比较了 X 射线和钴 60 伽马射线辐射。其他报告表明,目前对物理效应的理解不足以解释实验结果。因此,目前尚不完全确定 X 射线和钴 60 伽玛射线照射的效果之间的差异是否已得到充分了解。 (参见 8.2.1 和附录 X2。)由于可能无法理解辐射效应的光子能量依赖性,如果要使用 10-keV X 射线测试仪进行资格测试或批次验收测试,建议这样的测试应该......
图1 90 nm铜制程的某个断面层析成像与标准铜(Kα 8.04 keV)旋转阳固态金属靶源相比,MetalJet D2+以镓(Kα 9.2 keV)为X射线源,在观测Cu和Si时,对比度约为标准铜靶的9倍。如图2所示,镓靶在Kα 9.2 keV时明显能比铜Kα 8.04 KeV获得更大的吸收衬度,并且液态靶光源亮度比标准铜光源高出约10倍。...
0012684862031制造半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机0012784862039制造半导体器件或集成电路用的其他光刻设备0012884862041制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机0012984862049制造半导体器件或集成电路用的其他刻蚀及剥离设备0013084862050制造半导体器件或集成电路用的离子注入机0013184862090制造半导体器件或集成电路用的其他机器及装置...
这表明,当一个经过培训的合格的人员在操作这样的仪器时,所受到的辐射剂量超过辐射工作者的辐射剂量限量的可能性微乎其微。不过,虽然仪器有完全辐射保护系统,作为射线类仪器的使用人员,必须要了解X射线的危险性。下面的关于X射线的生物学效应描述来自普林斯顿大学的网页。X射线的生物学效应有哪些?1、破坏机理当能量转移到细胞结构中的原子和分子,会伤害活组织。电离辐射会导致原子和分子被电离或激发。...
中药生产企业应加强辐照单位审计,并要求辐照单位提供包括辐照产品名称、批号、堆积方式、辐照日期、辐照目的、吸收剂量率、辐照时间、总体平均剂量及保证剂量均匀分布的措施等在内的辐照产品记录。适用于中药辐照的电离辐射有:(1) 60Co等放射性核素产生的γ射线;(2) 电子加速器产生的能量低于5MeV的X射线;(3) 电子加速器产生的能量低于10MeV的电子束。...
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