VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
微形貌的光学测量 共焦显微镜的校准和粗糙度测量的深度设置标准
Optical measurement of microtopography - Calibration of confocal microscopes and depth setting standards for roughness measurement
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 当前最新
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
- 该指南描述了共焦显微镜的校准程序和粗糙度测量的深度设定标准，从而为测量系统追溯至国家标准奠定了基础。首先描述校准能力的确定过程。规定了校准的进一步基本条件以及校准程序的最低要求。最后明确了校准报告的要求。用于确定测量不确定度的 GUM 保形模型完成了说明。
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