ISO 18452:2005
精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷).用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer
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- 标准号
- ISO 18452:2005
- 发布
- 2005年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 18452:2005
- 引用标准
- ISO 3274
- 本国际标准规定了用接触式探针轮廓仪测定精细陶瓷膜和陶瓷涂层膜厚的方法。 该方法适用于10 nm至10 000 nm范围内的薄膜厚度。 注：该方法要求基材的涂层部分和未涂层部分之间有明显且清晰的边界。
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