EN ISO 14644-10:2013
洁净室和相关控制环境.第10部分:通过化学浓缩进行表面洁净度分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

被代替

2022-08

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标准号: EN ISO 14644-10:2013
发布: 2013年
发布单位: 欧洲标准化委员会
替代标准: EN ISO 14644-10:2022
当前最新: EN ISO 14644-10:2022

引用标准: ISO 14644-1:1999 ISO 14644-6:2007
被代替标准: FprEN ISO 14644-10:2012

ISO 14644 系列的这一部分根据存在的化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）规定了洁净室表面清洁度的分类系统。 ISO 14644 系列的这一部分适用于洁净室和相关洁净室区域的所有固体表面，例如B. 墙壁、天花板、地板、工作区域、工具、设备和装置。注 1：对于 ISO 14644 系列本部分的应用，仅考虑颗粒的化学性质。不考虑颗粒的物理特性，...

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洁净室和相关控制环境.第10部分:通过化学浓缩进行表面洁净度分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

被代替

说明：

推荐

ISO14644《洁净室及其相关受控环境》标准组成

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说明：

推荐

ISO14644《洁净室及其相关受控环境》标准组成

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