KS C 6521-2008
半导体/LCD工艺涂层评估方法

Method of evaluation for coating components of semiconductor and LCD process

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：KS C 6521-2008 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。

 

 

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标准号
KS C 6521-2008
发布日期
2008年11月28日
实施日期
2008年11月28日
废止日期
无
中国标准分类号
K46
国际标准分类号
31.080
发布单位
KR-KATS
适用范围
이 표준은 반도체/LCD 공정 중 식각 또는 화학기상증착(CVD) 공정 장비 내부의 코팅


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