KS C 6521-2008
半导体/LCD工艺涂层评估方法

Method of evaluation for coating components of semiconductor and LCD process

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标准号

KS C 6521-2008

发布日期

2008年11月28日

实施日期

2008年11月28日

废止日期

无

中国标准分类号

K46

国际标准分类号

31.080

发布单位

KR-KATS

适用范围

이 표준은 반도체/LCD 공정 중 식각 또는 화학기상증착(CVD) 공정 장비 내부의 코팅