KS C 6521-2008
半导体/LCD工艺涂层评估方法

Method of evaluation for coating components of semiconductor and LCD process

被代替

KS C 6521-2008 发布历史

KS C 6521-2008由韩国科技标准局 KR-KATS 发布于 2008-11-28，并于 2008-11-28 实施。

KS C 6521-2008 在中国标准分类中归属于: K46 电力半导体器件、部件，在国际标准分类中归属于: 31.080 半导体分立器件。

KS C 6521-2008 半导体/LCD工艺涂层评估方法的最新版本是哪一版？

最新版本是 KS C 6521-2021 。

KS C 6521-2008的历代版本如下：

• 2021年 KS C 6521-2021 半导体和LCD工艺涂层组件的评估方法
• 2019年 KS C 6521-2019 评价的方法用于半导体和LCD的过程涂料组分
• 2008年 KS C 6521-2008 半导体/LCD工艺涂层评估方法

이 표준은 반도체/LCD 공정 중 식각 또는 화학기상증착(CVD) 공정 장비 내부의 코팅

标准号

KS C 6521-2008

发布

2008年

发布单位

韩国科技标准局

替代标准

KS C 6521-2019

当前最新

KS C 6521-2021

 

 

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