SJ/T 11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法

Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer

半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法 是非强制性国家标准，您可以免费下载前三页

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标准号: SJ/T 11487-2015
发布日期: 2015年04月30日
实施日期: 2015年10月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: H83
国际标准分类号: 29.045
发布单位: 行业标准-电子

适用范围: 本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量,电阻率的测量范围为10⁵ Ω·cm~10¹² Ω·cm。

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