SJ/T 11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
Non-contact measurement method for the resistivity of semi-insulating semiconductor wafer
SJT11487-2015, SJ11487-2015
- 标准号
- SJ/T 11487-2015
- 别名
- SJT11487-2015, SJ11487-2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 11487-2015
- 适用范围
- 本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓、磷化铟、碳化硅等高阻半导体材料电阻率的测量,电阻率的测量范围为105 Ω·cm~1012 Ω·cm。
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