VDI 2083 Blatt 7-2015
洁净室技术 超纯介质 质量、供应、分配

Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution


VDI 2083 Blatt 7-2015 发布历史

VDI 2083 Blatt 7-2015由德国机械工程师协会 DE-VDI 发布于 2015-10。

VDI 2083 Blatt 7-2015在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境。

VDI 2083 Blatt 7-2015 洁净室技术 超纯介质 质量、供应、分配的最新版本是哪一版?

最新版本是 VDI 2083 Blatt 7-2015

VDI 2083 Blatt 7-2015 发布之时,引用了标准

VDI 2083 Blatt 7-2015的历代版本如下:

VDI 2083 Blatt 7-2015 由 VDI 2083 Blatt 10-1998 洁净室技术 高纯度/超高纯度(HP-/UHP-)介质供应系统 变更而来。

 

该标准涉及污染控制过程中超纯介质(蒸汽、气体、化学品)的规范以及此类介质的分配系统。该标准总结了有关高纯度供应系统的设计、施工、操作和监控的知识,并为规划者、系统供应商和运营商的工作提供支持。它旨在取代 VDI 2083 第 7 部分和第 10 部分。


VDI 2083 Blatt 7-2015相似标准


VDI 2083 Blatt 7-2015 中可能用到的仪器设备





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