VDI 2083 Blatt 7-2015
洁净室技术 超纯介质 质量、供应、分配

Cleanroom technology - Ultrapure media - Quality, supply, distribution


 

 

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标准号
VDI 2083 Blatt 7-2015
发布
2015年
发布单位
德国机械工程师协会
当前最新
VDI 2083 Blatt 7-2015
 
 
引用标准
DIN 12925-1:1998 DIN 12925-2:1998 DIN 4768:1990 DIN 477-1:2012 DIN 58356-12:2000 DIN 58356-2:2000 DIN 58950-7:2011 DIN EN 14470-1:2004 DIN EN 14470-2:2006 DIN EN 285:2009 DIN EN ISO 14698-1:2004 DIN EN ISO 9000:2005 ISO 1217:2009 ISO 8573 ISO 8573-1:2010
被代替标准
VDI 2083 Blatt 7-2006 VDI 2083 Blatt 7-2013 VDI 2083 Blatt 10-1998
适用范围
该标准涉及污染控制过程中超纯介质(蒸汽、气体、化学品)的规范以及此类介质的分配系统。该标准总结了有关高纯度供应系统的设计、施工、操作和监控的知识,并为规划者、系统供应商和运营商的工作提供支持。它旨在取代 VDI 2083 第 7 部分和第 10 部分。

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