ASTM D5544-16
高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water
说明：
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- 标准号
- ASTM D5544-16
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5544-16(2023)
- 当前最新
- ASTM D5544-16(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D2777 ASTM D3370 ASTM D3864 ASTM D3919 ASTM D5127 ASTM E1184
- 1.1 本测试方法涵盖半导体及相关行业使用的高纯水中溶解的有机物和无机物以及胶体物质的测定。这种材料称为蒸发残留物 (RAE)。测试方法的范围为0.001μg/L(ppb)至60μg/L(ppb)。 1.2 本测试方法采用连续、实时监测技术来测量RAE的浓度。高纯水的加压样品通过超净配件和管道连续供应至测试方法的设备...