ASTM D5544-16
高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water
ASTM D5544-16 发布历史
ASTM D5544-16由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2016。
ASTM D5544-16在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
ASTM D5544-16 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 ASTM D5544-16(2023) 。
ASTM D5544-16 发布之时，引用了标准
- ASTM D1129 与水相关的标准术语
- ASTM D2777 D-19水委员会应用方法的精确性及偏差的测定
- ASTM D3370 封闭管道取水的标准做法
- ASTM D3864 水分析用连续在线监测系统的标准指南
- ASTM D3919 用石墨炉原子吸收分光光度测定法测量水中痕量元素的标准实施规范
- ASTM D5127 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南
- ASTM E1184 电热(石墨加热炉)原子吸收分析
ASTM D5544-16的历代版本如下：
- 2023年 ASTM D5544-16(2023) 高纯水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
- 2016年 ASTM D5544-16 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
- 2011年 ASTM D5544-11 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
- 2005年 ASTM D5544-05 在线测量高纯度水蒸发后残留物的标准试验方法
- 1994年 ASTM D5544-94(2004) 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
- 1994年 ASTM D5544-94(1999)e1 高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
1.1 本测试方法涵盖半导体及相关行业使用的高纯水中溶解的有机物和无机物以及胶体物质的测定。这种材料称为蒸发残留物 (RAE)。测试方法的范围为0.001μg/L(ppb)至60μg/L(ppb)。 1.2 本测试方法采用连续、实时监测技术来测量RAE的浓度。高纯水的加压样品通过超净配件和管道连续供应至测试方法的设备。因此，可以防止大气污染物进入样品。有关测试方法的一般信息以及有关 RAE 连续测量的文献综述已发表。2 1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准。括号中给出的值是英寸-磅单位的数学转换，仅供参考，不被视为标准。
- 标准号
- ASTM D5544-16
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5544-16(2023)
- 当前最新
- ASTM D5544-16(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D2777 ASTM D3370 ASTM D3864 ASTM D3919 ASTM D5127 ASTM E1184