ASTM D5544-16
高纯度水蒸发后残留物在线测量的标准试验方法
Standard Test Method for On-Line Measurement of Residue After Evaporation of High-Purity Water
- 标准号
- ASTM D5544-16
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D5544-16(2023)
- 当前最新
- ASTM D5544-16(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D2777 ASTM D3370 ASTM D3864 ASTM D3919 ASTM D5127 ASTM E1184
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖半导体及相关行业使用的高纯水中溶解的有机物和无机物以及胶体物质的测定。这种材料称为蒸发残留物 (RAE)。测试方法的范围为0.001μg/L(ppb)至60μg/L(ppb)。 1.2 本测试方法采用连续、实时监测技术来测量RAE的浓度。高纯水的加压样品通过超净配件和管道连续供应至测试方法的设备。因此，可以防止大气污染物进入样品。有关测试方法的一般信息以及有关 RAE 连续测量的文献综述已发表。2 1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准。括号中给出的值是英寸-磅单位的数学转换，仅供参考，不被视为标准。