洁净室等级要求为保证洁净室及相关环境达到受控标准,对其基本的空气热湿处理设备、空气净化设备、空气动力设备、空气分布系统、冷热源设备、高效送风口、净化工作台、洁净单元、风淋室、传递窗及微环境以及洁净服、洁净手套、口罩、清洁用品等也有特殊要求。但是在洁净度标准方面并没有说明洁净室的物理特性、化学特性、放射特性或悬浮粒子的特性。...
首先值得注意的是,Vocus检测仪在切换不同采样点和零气过程当中的信号快速爬升和下降速度(也就是俗称的T90仪器响应时间)。丙酮的浓度差异不大,说明极大可能是来自于洁净室工作人员呼出气体,没有溶剂使用的影响。环戊酮的浓度与ISO等级成相关性:ISO 8级别的洁净室内浓度较高。乙酸在两间洁净室的各测量点的浓度不尽一致,根据现有的数据,没有一个显著性的规律,具体原因需要更多测量结果来解答。图2....
校准项目和校准方法 每次测定之前,将反应瓶盖插入装有约5 mL水的清洗瓶中,通入载气,净化测量系统,调整仪器零点。测定后,水洗反应瓶盖和砂芯。参考国家标准及测量仪器特性评定方法。 根据仪器的基本性能及以往的校准经验,选择有代表性的水中亚硝酸盐氮、硫化物、氨氮有证标准物质来评价仪器的计量性能,初定被校仪器的主要计量性能应满足表3的推荐值。 ...
同样重要的是对洁净室内空气中的颗粒物和颗粒物前驱物进行实时监控,保证洁净室100%满足对应的ISO等级需求。洁净室内的污染来源一般有人员相关(比如呼出气体)、通风系统效能、车间内材料逸出、清洁溶剂使用、工艺或设备原材料泄漏等等。即便在最高等级的洁净室环境内,Vocus CI-TOF质谱仪也检出很多种物种。...
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