BS EN ISO 14644-14:2016
洁净室和相关控制环境. 利用气载颗粒浓度评定设备的适合性
Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
- 标准号
- BS EN ISO 14644-14:2016
- 发布
- 2016年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS EN ISO 14644-14:2016
- 引用标准
- AIR 1167 IEST RP-CC026.2 IEST-RP-CC002.3 IEST-RP-CC013. 3 IEST-RP-CC028.1 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926 SEMI E137-0705 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083-9.1
BS EN ISO 14644-14:2016相似标准
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