DIN 32567-5:2015
微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices
- 标准号
- DIN 32567-5:2015
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 32567-5:2015
- 引用标准
- DIN 32564-1:2004 DIN 32567-1:2015 DIN EN ISO 25178-602:2011 DIN EN ISO 25178-603:2014 DIN EN ISO 25178-604:2013 DIN EN ISO 25178-605:2014 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
- 被代替标准
- DIN 32567-5:2014