DIN 32567-5-2015

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices


DIN 32567-5-2015 发布历史

DIN 32567-5-2015由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2015-06。

DIN 32567-5-2015在国际标准分类中归属于: 39.020 精密机械。

DIN 32567-5-2015 发布之时,引用了标准

  • DIN 32564-1-2004 微系统用制造设备.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语
  • DIN 32567-1-2015 
  • DIN EN ISO 25178-602-2011 产品几何技术规范(GPS)-表面纹理:平面.第602部分:非接触式(共焦彩色探针)仪器的标称特征(ISO 25178-602-2010);德文版本EN ISO 25178-602-2010
  • DIN EN ISO 25178-603-2014 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征(ISO 25178-603-2013).德文版本EN ISO 25178-603-2013
  • DIN EN ISO 25178-604-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第604部分:非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器(ISO 25178-604-2013).德文版本EN ISO 25178-604-2013
  • DIN EN ISO 25178-605-2014 几何产品技术规格(GPS). 表面结构: 平面式. 第605部分: 非接触式(连贯性扫描干涉法)仪器的标称特性(ISO 25178-605-2014); 德文版本EN ISO 25178-605-2014
  • VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 

DIN 32567-5-2015的历代版本如下:

 

 

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标准号
DIN 32567-5-2015
发布日期
2015年06月
实施日期
废止日期
国际标准分类号
39.020
发布单位
DE-DIN
引用标准
DIN 32564-1-2004 DIN 32567-1-2015 DIN EN ISO 25178-602-2011 DIN EN ISO 25178-603-2014 DIN EN ISO 25178-604-2013 DIN EN ISO 25178-605-2014 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010
被代替标准
DIN 32567-5-2014

DIN 32567-5-2015系列标准





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