DIN 32567-5-2015

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices

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标准号

DIN 32567-5-2015

发布日期

2015年06月

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

39.020

发布单位

DE-DIN

引用标准

DIN 32564-1-2004 DIN 32567-1-2015 DIN EN ISO 25178-602-2011 DIN EN ISO 25178-603-2014 DIN EN ISO 25178-604-2013 DIN EN ISO 25178-605-2014 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010

被代替标准

DIN 32567-5-2014

DIN 32567-5-2015系列标准