ISO 14644-17:2021
洁净室和相关控制环境.第17部分：颗粒沉积速率应用
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications
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- 标准号
- ISO 14644-17:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-17:2021
- 引用标准
- ISO 14644-3:2019
- 本文件为洁净室中一个或多个易损表面上的颗粒沉积率测量结果的解释和应用提供了指导，作为污染控制计划的一部分。 它提供了一些有关如何影响颗粒沉积速率并降低易损表面上颗粒污染风险的说明。 本文档提供了有关洁净室用户如何使用颗粒沉积率测量来确定可为易损表面上的大颗粒设置的限制的信息。 它还提供了一种风险评估方法，通过该方法可以确定颗粒沉积到洁净室中易损表面上的可接受...
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