ISO 14644-17:2021由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2021-02-00。
ISO 14644-17:2021在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境。
ISO 14644-17:2021 洁净室和相关控制环境.第17部分:颗粒沉积速率应用的最新版本是哪一版?
最新版本是 ISO 14644-17:2021 。
本文件为洁净室中一个或多个易损表面上的颗粒沉积率测量结果的解释和应用提供了指导,作为污染控制计划的一部分。 它提供了一些有关如何影响颗粒沉积速率并降低易损表面上颗粒污染风险的说明。 本文档提供了有关洁净室用户如何使用颗粒沉积率测量来确定可为易损表面上的大颗粒设置的限制的信息。 它还提供了一种风险评估方法,通过该方法可以确定颗粒沉积到洁净室中易损表面上的可接受的风险,并且当无法实现这一点时,可以使用方法来降低颗粒沉积率。 粒子沉积率的另一种选择是粒子遮蔽率,它决定了粒子在表面区域上的覆盖率随时间的增加率。 粒子遮蔽率可以与粒子沉积率类似的方式使用,并且可以计算指定表面所需的粒子遮蔽率,并降低沉积粒子的风险。 本文件不: ——提供根据粒子沉积率或粒子遮蔽率对洁净室进行分类的方法; ——直接考虑携带微生物的颗粒的沉积,尽管它们可以被视为颗粒; ——考虑接触引起的表面沉积,例如,当人员接触产品并转移污染物时。
又如,含硅有机物沉积在光刻棱镜表面后会对整体光学系统的散射性能产生影响,这在EUV室等要求及其苛刻的环境中尤其值得重点关注[1]。03—半导体应用案例洁净室AMC实时监测除了生产安全和能耗之外,半导体洁净车间(也称无尘室)设计的另外一个目标是最大化产品产量和良率[4]。之前文献报道了良率和洁净室内空气质量的相关性研究。...
适合测量氨(NH3,m/z 17)、氢氟酸(HF,m/z 17)、PGMEA(m/z 132)和硅氧烷(D5,m/z 371)等分子量在500以下的数百种小分子。Vocus ABC监测仪1分钟的检测限通常在1-10 pptv,满足绝大部分的AMC应用需求。...
监测当地环境中的颗粒沉积现象很多污染敏感产品对生产环境的要求非常高,此类产品必须在达到一定空气清洁度的洁净室中生产。仅通过粒子计数器监测大气尘埃粒子,无法对当地环境中的颗粒沉积水平作出明确定论。颗粒的来源多种多样,通常与人员/员工、物流作业流程、包装、耗材以及生产过程密切相关。将 10 块沉降板放在关键过程位置,以便对清洁生产环境中的沉积物污染进行量化。沉降板会将沉积物颗粒收集在胶带上。...
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