又如,含硅有机物沉积在光刻棱镜表面后会对整体光学系统的散射性能产生影响,这在EUV室等要求及其苛刻的环境中尤其值得重点关注[1]。03—半导体应用案例洁净室AMC实时监测除了生产安全和能耗之外,半导体洁净车间(也称无尘室)设计的另外一个目标是最大化产品产量和良率[4]。之前文献报道了良率和洁净室内空气质量的相关性研究。...
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