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等离子刻蚀机支持以下四种平面等离子体处理模式

2021.9.03
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  SCE等离子刻蚀机支持以下四种平面等离子体处理模式:

  直接模式——基片可以直接放置在电极托架或是底座托架上,以获得最大的平面刻蚀效果。

  定向模式——需要非等向性刻蚀(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

  下游模式——基片可以放置在不带电托架上,以便取得微小的等离子体效果。

  定制模式——当平面刻蚀配置不过理想时,特制的电极配置可以提供。

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