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如何测量半导体材料的光致发光谱

2021.12.08

超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

我目前只知道一种仪器，叫TXRF(Total Reflection X-ray Fluorescence)。

其原理是用X光激发原子层电子逃逸，导致外层电子跃迁释放出特征X射线，其可以被接收器（EDX）检测形成能量弥散X射线谱。

其他的不太清楚，X-ray Fluorescence的仪器用的都是这个原理。

还有一种光谱叫电子致发光谱，一般都是配合SEM得到的。

光致发光谱

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