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SEMICON CHINA
SEMICON CHINA 2021将于3月17日-19日在上海新国际博览中心如期举行。作为中国首屈一指的半导体行业盛事,囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商,该展会将为业内人士提供高效交流、洞悉行业动态的有效平台。
在此,赛默飞世尔科技诚邀您莅临我们的展位(展位号:N5135),观摩我们的指尖实验室,与我们的技术专家共同探讨失效分析解决方案。我们将展示针对半导体制造商和电子行业的领先分析流程,助您加快产品缺陷识别和研发进程,实现过程监控、良率提升,及时抢占市场!
赛默飞半导体杂质检测
全方位解决方案
Dionex ICS-6000 HPIC高压离子色谱系统
广泛应用于离线和在线监控fab AMC,超纯水中阴、阳离子的监控以及高纯试剂(酸、碱和有机溶剂)中阴、阳离子分析。通过专利的在线电解淋洗液发生器实现无需手动配置淋洗液,实现操作更简单,测试结果更稳定。
iCAP™ TQ ICP-MS
广泛应用于半导体行业金属离子痕量分析检测。标配4路碰撞反应气体,彻底消除多原子离子干扰;标配有机加氧装置,可直接分析半导体行业的有机试剂样品。开放的硬件设计,使得ICPMS操作更简单,维护更方便。
Element XR HR-ICP-MS
高分辨电感耦合等离子体质谱仪
最高分辨率可达10000,可区分质量数小于0.01 amu的质谱干扰,真正实现无干扰分析,并减少复杂的样品制备和方法开发过程。应用:高纯试剂、高纯材料、高纯气体中痕量元素准确定量。
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Element GD Plus GD-MS
辉光放电质谱仪
高纯固体样品直接分析,最大化减少样品处理步骤,降低沾污风险。
热门应用:
赛默飞ELEMENT GD Plus GD-MS检测高纯Si中的Fe、Cu、Ti的深度分布
Fe、Cu、Ti(<10 ppbw)是对太阳能电池性能损害最大的金属杂质:
Fe、Cu在Si中会快速扩散,属于间隙杂质;
Ti扩散速度慢,会占据Si晶格的取代位点(类似B、P掺杂元素)。
赛默飞ELEMENT GD Plus GD-MS半导体检测高纯硅,高纯碳化硅,砷化镓等,杂质含量的检出限可达到ppb及ppb以下。高纯靶材中痕量杂质的检测及纯度鉴定,如铜,钛,铝,钼及ITO等靶材,可实现6N+纯度的鉴定。高纯石墨及石墨粉的杂质含量检测及纯度鉴定,可实现6N+纯度的鉴定。
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温馨提示
本次展会实行实名入场制度,请携带中国大陆身份证、护照/港澳通行证/台湾通行证等相关证件进入展馆。
日期:3月17日-19日
地点:上海新国际博览中心N5馆
展位号:N5135
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