旨在助力“中国芯”制造,推进半导体行业及半导体相关研究中的最新物性分析和电性分析技术的交流与共享,5月18日赛默飞半导体先进分析解决方案研讨会于上海纳米港成功举办。全天会议共吸引了线上线下200多位主要半导体和微电子制造商、平板显示行业、服务实验室以及半导体研究相关的高校和研究所的客户参与本次研讨会。
会议伊始,赛默飞中国区半导体业务高级商务总监Sherry Zhu发表了开幕致辞,她对莅临活动现场以及在线观看的观众表示衷心地感谢,她希望借助这次机会给大家提供一个产学研互相交流的平台,相信通过本次研讨会和对上海纳米港的参观 ,加深对我们先进分析解决方案的了解,并预祝活动取得圆满成功。
赛默飞中国区半导体业务高级商务总监Sherry Zhu
研讨会开始前,赛默飞半导体事业部副总裁及总经理Glyn Davies带来了美国西海岸的问候。他表示,在全球大流行的新冠肺炎时期,我们面临着前所未有的挑战,此时,半导体行业蒸蒸日上,迎来了全新的快速发展时代。我们继续致力于开发新产品,赛默飞一直是科学服务领域的世界领导者,我们的解决方案可以为中国芯片制造加快良率提升、缩短新产品上市时间。
赛默飞半导体事业部副总裁及总经理Glyn Davies
本次会议有幸邀请到了SEMI China高级总监冯莉女士莅临活动现场,给我们带来主题为“中国半导体产业新机遇”的特邀报告。报告中她表示,尽管新冠疫情对全球经济和制造业产生了影响,但2020年全球半导体产业逆势增长6.5%,达到了4390亿美金。在新冠疫情大流行期间,远程办公、在家学习和娱乐等是驱动半导体产业成长的主要因素之一。在国家政策引导和资本加持下,整个产业链的投资热度持续升温。2020年中国集成电路产业达到8848亿元,维持着18%的快速成长。此外,中国集成电路产业链结构进一步优化,封测业比重持续下降,设计业和制造业比重逐步上升。
SEMI China高级总监冯莉女士
荣幸至极,我们还邀请到了东南大学电子科学与工程学院、微电子学院院长孙立涛教授带来主题为“面向未来芯片:原子尺度制造与表征”的特邀报告。会议中,他表示芯片尺寸微型化是未来的发展趋势,原子制造是未来芯片制造的重要支撑。与此同时,芯片发展需要多学科交叉、多聚焦前沿,而原子制造是多学科交叉前沿研究的基础。此外,可视化原子制造加速新材料新器件的研发、能够最直观理解新现象新原理、可以在器件使役条件下实时观测,因此可视化原子制造是破解科学之谜最直观手段。
东南大学电子科学与工程学院、微电子学院院长孙立涛教授
应对半导体产业的新机遇与新挑战,赛默飞中国区销售总监Bryan Chuang和PFA资深业务拓展经理Xiaoxiao Cao详细介绍了赛默飞新推出的一系列电镜产品:具备严苛图像畸变指标的Talos F200E透射电镜;配备了全新能谱系统Spectra Ultra球差矫正透射电镜;以及独特的Helios 5 EXL和PFIB线上缺陷分析系统。
赛默飞中国区销售总监Bryan Chuang
赛默飞PFA资深业务拓展经理Xiaoxiao Cao
赛默飞应用主管John Guo带来了主题“逻辑产品的分析”主题报告,从基础的角度介绍了逻辑产品分析的去层方法以及Helios 5 PFIB UXe DualBeam、Helios 5 PXL PFIB Wafer DualBeam相关产品介绍。
赛默飞应用主管John Guo
赛默飞EFA业务拓展经理Billy Tang通过针对PowerMOS的从电性失效分析到物性失效分析流程的案例介绍,分享了赛默飞提供的从微米级光学定位到样品制备,再进行纳米级失效定位,最后进行物性失效验证的整体解决方案。
赛默飞EFA业务拓展经理Billy Tang
赛默飞全球应用总监Erwan Sourty和资深应用经理Smith Gao介绍了赛默飞全球最大、最先进的客户体验中心--上海纳米港电镜中心,拥有超过30多台电镜设备。在这里,客户可以与我们的科学家一起体验半导体先进分析流程,洞悉产品与工艺的微观世界,实现本土芯片打样,客户本土培训。
赛默飞全球应用总监Erwan Sourty
资深应用经理Smith Gao
赛默飞PFA资深业务拓展经理Xiaoxiao Cao介绍了等离子聚焦粒子束Helios 5 PFIB在先进封装领域的应用,主要介绍了先进的DualBeam Plasma FIB解决方案,能够用于半导体器件、2.5/3D封装技术和材料的无损伤大面积处理、样品制备和分析。
赛默飞PFA资深业务拓展经理Xiaoxiao Cao
赛默飞应用主管Bingxing Wu介绍了基于Helios 5 FX的一体化FIB-STEM分析流程,可以支持各种不同应用场景及器件类型,Helios 5 提供卓越的透射电镜样品制备能力。
赛默飞应用主管Bingxing Wu
赛默飞应用科学家Nannan Shi介绍了XPS表面分析技术在半导体器件表征中的应用,结合多个实际案例,阐释XPS技术用于半导体器件的元素鉴别和定量、元素化学态鉴别和定量。
赛默飞应用科学家Nannan Shi
飞纳台式扫描电镜应用总监Jerry Zhu介绍了飞纳台式扫描电镜在半导体行业的应用,飞纳台式扫描电镜可用于半导体FA实验室,广泛快速过滤样品,确认分析位置,确认样品前处理状况,立即解决没有必要后送分析的样品。
飞纳台式扫描电镜应用总监Jerry Zhu
会议最后,赛默飞中国区半导体业务高级商务总监Sherry Zhu盛情邀请在座的各位嘉宾驻足参观上海纳米港,参与会后交流与冷餐会。
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