会议介绍
材料的纯度决定着半导体器件工艺的高度，作为半导体产业的基石，高纯金属材料、高纯气体、高纯水和光刻胶等高纯材料痕量分析的需求在持续更新。同时，随着半导体器件向小型化和集成化方向发展，微米量级的器件尺寸对测试技术提出新的挑战。多年来，分析科学家及仪器厂商一直在不断努力提升半导体器件和高纯材料的测试精度和效率。
基于此，化工仪器网特举办“半导体超精密分析技术及应用”线上论坛，深入探讨半导体行业超精密分析需求、半导体器件超精密测量技术动态、半导体高纯材料的研究动态和技术进展，以期为从事半导体器件以及相关高纯材料开发、超精密分析技术研究的科研人员和企业研发人员开拓思路，助力半导体行业健康发展。
10月20日，徕卡显微系统应用工程师包沈源将为广大观众及行业从业者带来《徕卡电镜制样产品应用之:半导体器件制样方法与技巧 》的主题报告，内容丰富精彩，诚邀您的参加！
2022 / 10 / 20
直播时间
2022年10月20日9:30-16:00
报名方式
长按识别二维码
观看直播
参讲嘉宾
杨树明
西安交通大学 教授
国家重点研发计划项目首席
李策
天津三英精密仪器股份有限公司 应用工程师
杨学林
北京大学宽禁带半导体研究中心 高级工程师
马岚
牛津仪器科技(上海)有限公司纳米分析部 应用科学家
朱岩
浙江大学 教授 中国仪器仪表协会分析仪器分会 理事
潘广文
赛默飞世尔科技(中国) 有限公司 应用科学家
徐宗伟
天津大学 精密仪器工程系 副系主任
包沈源
徕卡显微系统(上海)贸易有限公司 应用工程师
日程安排
时间 | 主题 | 主讲人 |
09:30-10:00 | 面向半导体芯片制造的超精密检测技术 | 杨树明 |
10:00-10:30 | 高分辨CT和高速CT在电子制造领域的应用 | 李策 |
10:30-11:00 | GaN基材料外延生长及C杂质相关缺陷检测技术 | 杨学林 |
11:00-11:30 | EDS及EBSD在GaN中的应用 | 马岚 |
11:30-14:00 | 午休 | |
14:00-14:30 | 离子色谱在超纯水、半导体试剂、洁净厂区空气检测的应用 | 朱岩 |
14:30-15:00 | 赛默飞离子色谱在半导体领域的应用 | 潘广文 |
15:00-15:30 | 宽禁带半导体原子尺度制造的机遇和挑战 | 徐宗伟 |
15:30-16:00 | 徕卡电镜制样产品应用之:半导体器件制样方法与技巧 | 包沈源 |
关于徕卡显微系统
徕卡显微系统的历史最早可追溯到19世纪，作为德国著名的光学制造企业，徕卡显微成像系统拥有170余年显微镜生产历史，逐步发展成为显微成像系统行业的领先的厂商之一。徕卡显微成像系统一贯注重产品研发和最新技术应用，并保证产品质量一直走在显微镜制造行业的前列。
徕卡显微系统始终与科学界保持密切联系，不断推出为客户度身定制的显微解决方案。徕卡显微成像系统主要分为三个业务部门：生命科学与研究显微、工业显微与手术显微部门。徕卡在欧洲、亚洲与北美有 7 大产品研发中心与 6 大生产基地，在二十多个国家设有销售及服务分支机构，总部位于德国维兹拉(Wetzlar)。了解更多信息，请访问：www.leica-microsystems.com.cn
探索产品
应用领域
首页
