布鲁克推出用于生产和研究环境中使用的新一代三维表面测量技术

布鲁克纳米表面仪器

2023.1.31

作者布鲁克纳米表面

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旧金山，加州，2023/1/31 - 美国西部光电展览会，布鲁克公司今日发布两款新的白光干涉仪系统：ContourX-1000和NPFLEX-1000光学轮廓仪。此两款落地式平台可实现更快地实现表面纹理和粗糙度等表面形貌的自动测量。新的一键式“高级寻找表面”功能，结合自动聚焦、自动亮度优化，提升用户体验减少测试时长，消除了以往每次测量前均需要手动对焦的不便。进一步结合新的通用型自适应测量模式（USI）和简明流程化操作界面（VisionXpress），使得用户在各种表面上均可实现更快捷而不折不扣的计量结果。

ContourX-1000通过用户友好式自动测量和分析程序，为半导体及光电制程、先进封装、医疗器械制造等大批量生产场景提供最准确而精密的计量测试。NPFLEX-1000通过大龙门架和摆动头部设计，提供独特的计量式测试方案，用于大型工件上难以测试位置的测量。比如，汽车、医疗、大型增材制造等精密加工所需的质量控制。

“我从1980年代开始就一直使用布鲁克光学轮廓仪技术，而这些新系统是三十多年来进步的美妙巅峰之作”，Michigan Metrology的创建者和总裁Don Cohen博士表示。“对于计量实验室而言，测试效率、操作易用性和测量重复性是至关重要的，在独立式系统上集成出此种自动寻找焦面功能是真正的游戏规则改写者。”

“布鲁克光学轮廓仪产品家族拥有漫长的历史淀积，尤以其业界领先的多功能、高效率和不同寻常的易用性著称。” 布鲁克TSOM部门的高级总监和总经理Samuel Lesko博士表示。“通过我们白光干涉新的解决方案，上面这些特点进一步提升。尤其试想一下，原本不熟悉的用户现在可以在几秒之内就可获得高质量的测试结果，而无需在普通系统上花费数分钟才能实现。”

关于ContourX-1000三维光学轮廓仪

ContourX-1000集合了业界瞩目的布鲁克自动倾斜扫描头专利、激光自校准参考系统、集成式图案识别套装和机台间程式互相拷贝等。全新的通用型自适应扫描模式 (USI模式)能自动调整优化测量参数，简明流程式操作界面（VisionXpress软件）使毫无经验的用户亦可获得高质量的分析结果。这些独特的软硬件组合保证了用户更快获得计量级测试结果，实现了研发到生产场景下最大的结果稳定性和机台间匹配能力。

关于NPFLEX-1000三维光学轮廓仪

NPFLEX-1000结合了所有ContourX-1000的易用性优势，同时设计上具有独特的稳定而灵活的龙门架结构。NPFLEX-1000为用户提供了超大空间，镜头下大于300毫米的高度范围内可放置各种尺寸的样品，加上前后摆动测试头和超长工作距离物镜，使得该系统使用起来超级灵活。此外，还可通过选配转折镜大大提升样品侧面角度的测试能力。这些所有灵活性并不会丝毫影响测试效率。10秒内即可实现快速、自动测量和数据分析结果，在生产环境下其高效率为用户创造更多价值。