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二次离子质谱(SIMS)6分析具有灵敏度高、微区分析、深度剖析的优点,是检测钝化膜中钠离子浓度分布的有效手段,可以给出钠离子在钝化膜中的实际的分布。本工作采用二次离子质谱法对二氧化硅钝化膜中钠离子浓度进行检测。 1 实验部分 1.1 仪器 法国CAMECA公司的IMS-4fE/7 型二次离子质谱仪,配备双等离子源和铯离子源,中和电子枪。 ...
SIMS操作模式可以分为质谱表面谱、成像模式、深度剖析等。 其中质谱模式质量分辨率最高,常用于鉴别各种材料中所含有的元素、材料中的掺杂、污染物中的成分等。二次离子质谱成像是指二次离子在二维平面上的强度分布,可以直观的显示成分的分布,获得元素离子、分子碎片或分子离子的形貌。...
二次离子质谱是一种具有超高分辨率和灵敏度的固体表面分析技术。它可以分析氢元素到铀元素在内的所有元素和同位素,还可以得到固体表面官能团和分子结构等信息。SIMS可以分为静态SIMS(SSIMS)和动态SIMS(DSIMS)两种类型,通过不同扫描类型,得到二次离子质谱图、化学成像、动态深度剖析曲线等。 ...
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