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例如:表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法(GB/T32495-2016)、钢铁锡、锑、铈、铅和铋的测定电感耦合等离子体质谱法(GB/T32548-2016)。...
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二次离子质谱(SIMS)6分析具有灵敏度高、微区分析、深度剖析的优点,是检测钝化膜中钠离子浓度分布的有效手段,可以给出钠离子在钝化膜中的实际的分布。本工作采用二次离子质谱法对二氧化硅钝化膜中钠离子浓度进行检测。 1 实验部分 1.1 仪器 法国CAMECA公司的IMS-4fE/7 型二次离子质谱仪,配备双等离子源和铯离子源,中和电子枪。 ...
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