GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件

Generic specification for ion implantation equipment


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GB/T 15862-1995



标准号
GB/T 15862-1995
发布日期
1995年12月22日
实施日期
1996年08月01日
废止日期
2013-02-15
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31.200
发布单位
CN-GB
代替标准
GB/T 15862-2012
适用范围
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

GB/T 15862-1995系列标准





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