GB/T 15862-1995
离子注入机通用技术条件
Generic specification for ion implantation equipment
GBT15862-1995, GB15862-1995
2013-02
说明：
- 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
- 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
- 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
- 表示标准的节点，可以拖动；
- 绿色表示标准：GB/T 15862-1995 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
- 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
- 标准号
- GB/T 15862-1995
- 别名
- GBT15862-1995
GB15862-1995 - 发布
- 1995年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 15862-2012
- 当前最新
- GB/T 15862-2012
- 本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。